Title:
坩堝、蒸着装置及び蒸着システム
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2019534937
Kind Code:
A
Abstract:
本開示は、坩堝、蒸着装置及び蒸着システムに関する。前記坩堝は被加熱材料を収納するための収納室を含み、前記坩堝は前記収納室中に位置する収集器をさらに含み、かつ前記収集器の開口が前記収納室の頂部に向かう。【選択図】図３
Inventors:
Zhang Yongfeng
Application Number:
JP2017563294A
Publication Date:
December 05, 2019
Filing Date:
June 21, 2017
Export Citation:
Assignee:
BOE TECHNOLOGY GROUP CO.,LTD.
International Classes:
C23C14/24; F27B14/10; F27B14/12
Domestic Patent References:
| JP2001291589A | 2001-10-19 |
Attorney, Agent or Firm:
Creation International Patent Office