Title:
切削方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024043556
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】切削ブレードの破損に伴って生じ得る保持テーブルの保持面の傷や異物の存在といった異常を検出し、さらなる不具合の発生を回避するための新規な技術を提案する。【解決手段】切削ブレードの破損を検出するブレード破損検出器を有した切削ユニットと、保持テーブルの保持面を撮像可能な撮像カメラと、を備えた切削装置で被加工物を切削する切削方法であって、保持テーブルで保持された被加工物を切削ブレードで切削する切削ステップと、ブレード破損検出器で切削ブレードの破損を検出した際に保持テーブルから被加工物を搬出する搬出ステップと、搬出ステップの後、破損した切削ブレードを他の切削ブレードと交換するブレード交換ステップと、搬出ステップを実施した後、ブレード交換ステップを実施する前または後に、保持テーブルの保持面を撮像カメラで撮像し、保持面の異常の有無を確認する保持面確認ステップと、を備えた切削方法とする。【選択図】図５
Inventors:
Tomoharu Takita
Application Number:
JP2022148659A
Publication Date:
April 01, 2024
Filing Date:
September 19, 2022
Export Citation:
Assignee:
Disco Co., Ltd.
International Classes:
B24B49/12; B23Q17/09; B23Q17/24; B24B27/06; B24B41/06; B24B45/00; H01L21/301
Attorney, Agent or Firm:
Hiroshi Ogami
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