Title:
研磨部材固定用両面粘着テープ、複層タイプの研磨パッド、トップパッドを定盤に固定する方法、および複層タイプの研磨パッドを定盤に固定する方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP7406693
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】 研磨の際は高温になってもズレたり剥がれたりしにくく、研磨後には剥がしやすい性能を併せ持つ両面粘着テープの提供。【解決手段】 フィルム基材とアクリル系の第１粘着層と天然ゴム系の第２粘着層とを具備する、（１）トップパッドをクッション層に固定するための、または（２）トップパッドを定盤に固定するための、または複層タイプの研磨パッドのクッション層を定盤に固定するための研磨部材固定用両面粘着テープであって、第１粘着層と第２粘着層との厚みの差が２５μｍ以下であり、フィルム基材の厚みが２０μｍ以上、７５μｍ未満であり、前記（１）の場合、第１粘着層がトップパッドに接し、前記第２粘着層がクッション層に接し、前記（２）の場合、第１粘着層がトップパッドに接し、前記第２粘着層が定盤に接し、前記（３）の場合、第１粘着層がクッション層に接し、前記第２粘着層が定盤に接する。【選択図】 なし
Inventors:
Tadashi Abe
Application Number:
JP2022179329A
Publication Date:
December 28, 2023
Filing Date:
November 09, 2022
Export Citation:
Assignee:
Toyo Ink sc Holdings Co., Ltd.
International Classes:
C09J7/38; B24B37/12; B24B37/22; B24B37/30; B24B45/00; C09J11/04; C09J11/08; C09J107/00; C09J133/06; H01L21/304
Domestic Patent References:
| JP2000309760A | 2000-11-07 | |||
| JP2012102165A | 2012-05-31 | |||
| JP2019145689A | 2019-08-29 | |||
| JP2006022185A | 2006-01-26 | |||
| JP2000071170A | 2000-03-07 | |||
| JP2013213192A | 2013-10-17 |
Foreign References:
| WO2007132881A1 | 2007-11-22 | |||
| KR1020150089207A | ||||
| US3464848A | 1969-09-02 | |||
| KR20030030354A | 2003-04-18 | |||
| KR20150089207A | 2015-08-05 |
Other References:
BT Poh、ほか1名,Effect of zinc oxide concentration and testing rate on shear properties of Standard Malaysian Rubber (SMR) L-based pressure-sensitive adhesives,Journal of Elastomers & Plastics,英国,2013年01月,Vol.45 No.1,Page.95-103