Title:
電気めっきシード層の構築および修復
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023542459
Kind Code:
A
Abstract:
電気めっきの例示的な方法は、第１の期間にわたって、電気めっきチャンバのめっき浴を通して電源から電流を供給するステップを含むことができる。供給される電流は、約５０％以下のデューティサイクルのパルス電流であってもよく、またはそれを含んでもよい。本方法は、めっき浴内で基板上に第１の量の金属をめっきするステップを含むことができる。基板は、基板内にビアを画定することができる。本方法は、第１の期間に続いて、第２の期間にわたって、電源を連続的なＤＣ電流供給に移行させるステップを含んでもよい。本方法は、基板上に第２の量の金属をめっきするステップを含むことができる。
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Inventors:
Bernd Marvin Elle
burnham james see
Mikkola Robert
burnham james see
Mikkola Robert
Application Number:
JP2023503433A
Publication Date:
October 10, 2023
Filing Date:
October 19, 2021
Export Citation:
Assignee:
APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
International Classes:
C25D13/18; C25D7/00; C25D7/12; C25D13/14; C25D17/06; H01L21/60
Attorney, Agent or Firm:
Shinichiro Tanaka
▲吉▼田 和彦
Hiroyuki Suda
Fumiaki Otsuka
Hiroshi Uesugi
Naoki Kondo
Takeo Nasu
Nobuhiko Suzuki
▲吉▼田 和彦
Hiroyuki Suda
Fumiaki Otsuka
Hiroshi Uesugi
Naoki Kondo
Takeo Nasu
Nobuhiko Suzuki