Title:
基板の表面温度を測定する装置および方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2021505852
Kind Code:
A
Abstract:
基板を加熱するように構成されたパルス光ビーム（９）とプローブ光ビーム（３９）によって照射された基板（３）の表面温度（Ｔｓ）を測定するための装置（１）において、加熱された基板は熱放射（１６）の放射ビーム（１７）を放射し、前記装置は、実質的に近い方向（ＤＴＲ１ａ、ＤＰＬ１）に伝搬する放射ビームとプローブ光（３９）の反射ビーム（４７）を収集するように構成された光学系を具え、収集された放射ビームおよび収集された反射ビームは、それぞれのルーティング手段（２５ａ、５１）を介してそれぞれの検出器（３１ａ、５５）に別々にルーティングされ、それぞれの検出器（３１ａ、５５）は、同時に同じ波長で収集された放射ビームと収集された反射ビームの強度を測定するように構成され、表面温度は、収集された放射ビームと収集された反射ビームに基づいて計算される。【選択図】図１
Inventors:
Perot, Sylvain
Application Number:
JP2020528329A
Publication Date:
February 18, 2021
Filing Date:
December 03, 2018
Export Citation:
Assignee:
LASER SYSTEMS AND SOLUTIONS OF EUROPE
International Classes:
G01J5/00; G01J5/08; G01J5/60; H01L21/66
Domestic Patent References:
| JP2013048226A | 2013-03-07 | |||
| JP2007263583A | 2007-10-11 | |||
| JPH01202633A | 1989-08-15 |
Foreign References:
| US4956538A | 1990-09-11 |
Attorney, Agent or Firm:
Patent business corporation Kita Aoyama International