Title:
エッチング液組成物
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024032483
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】一態様において、エッチング後に金属膜の光沢度が損なわれにくいエッチング液組成物を提供する。【解決手段】本開示は、一態様において、基板上に形成された金属膜をエッチングするためのエッチング液組成物であって、リン酸、硝酸、２０℃の水への溶解度が１１００ｇ／Ｌ以下の有機酸、及び水を含有し、前記有機酸の配合量は６５質量％以上９９質量％以下であり、２０℃の水への溶解度が１１００ｇ／Ｌ以下の有機酸の配合量（質量％）をａ、無機酸の配合量（質量％）をｂとしたとき、式：ａ／ｂ×１００で表される有機酸率は２５０％以上である、エッチング液組成物に関する。【選択図】なし
Inventors:
Yousuke Kimura
Shota Okazaki
Kanji Satoh
Shota Okazaki
Kanji Satoh
Application Number:
JP2022136158A
Publication Date:
March 12, 2024
Filing Date:
August 29, 2022
Export Citation:
Assignee:
Kao Corporation
International Classes:
H01L21/308; C23F1/16
Attorney, Agent or Firm:
Ikeuchi & Partners Patent Attorney Corporation
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