Title:
電子ビームを用いた極紫外線光源装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023518016
Kind Code:
A
Abstract:
極紫外線光源装置は、内部を真空に保持する放電チャンバと、放電チャンバの内部に位置し、電子ビームを生成する電子ビーム放出部と、放電チャンバの内部に位置し、電子ビームによってイオン化される金属放射体とを含む。金属放射体から発生したプラズマで極紫外線放射が行われる。電子ビーム放出部は、カソード電極と、カソード電極上に位置し、カーボン系物質を含む複数のエミッタと、複数のエミッタと距離をおいて複数のエミッタ上に位置し、パルス電圧が印加されるゲート電極とを含む。
Inventors:
Park, Kyu Chan
Application Number:
JP2022555071A
Publication Date:
April 27, 2023
Filing Date:
March 11, 2021
Export Citation:
Assignee:
UNIVERSITY-INDUSTRY CO OPERATION GROUP OF KYUNG HEE UNIVERSITY
International Classes:
H01J63/08; G03F7/20; H01J35/00; H01J35/06; H05G2/00; H05H1/24
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Corporation R&C
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