Title:
流体デバイス、及び流体デバイスの制御方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024004996
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】省電力化及び長寿命化を図れる流体デバイスを提供する。【解決手段】流体デバイスは、流体が流通する流路と、前記流路に設けられて、前記流体に超音波を送信することで、前記流路内の前記流体に前記流体の流通方向に直交する第１方向に沿って定在波を発生させる超音波送信部と、前記流路の前記超音波送信部よりも前記流通方向の上流側に設けられ、前記流体に含まれる微粒子を検出する検出部と、制御部と、を備え、前記検出部は、前記微粒子を検出することで前記制御部に検出信号を送信し、前記制御部は、前記検出信号を受信したタイミングから所定の第一時間が経過した後に、前記超音波送信部から前記流路に前記超音波を送信して前記定在波を発生させる。【選択図】図１
Inventors:
Hiroto Tomioka
Keita Kubo
Yoshio Arai
Power Kojima
Keita Kubo
Yoshio Arai
Power Kojima
Application Number:
JP2022104949A
Publication Date:
January 17, 2024
Filing Date:
June 29, 2022
Export Citation:
Assignee:
Seiko Epson Corporation
International Classes:
B01D43/00
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Corporation Kinoshita Intellectual Property Office
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