Title:
異物検出装置、基板処理装置、及び異物検出方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024020516
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】異物検出動作が正常に行われているかの確認を可能にする。【解決手段】異物検出装置は、基板処理用の処理液に含まれる異物を検出するように構成された装置である。この異物検出装置は、基板に供給される処理液が流れる処理液流路を形成する処理液流路形成部と、処理液とは異なる検査液が流れる検査液流路を形成する検査液流路形成部と、処理液流路及び検査液流路に向けて光源からの照射光をそれぞれ照射するように構成された照射部と、照射光の照射によって処理液流路から出射される光と、照射光の照射によって検査液流路から出射される光とをそれぞれ受光するように構成された受光部と、を備える。【選択図】図７
Inventors:
Hiroshi Nishihata
Hideo Shite
Saint Hayashi
Kohei Noguchi
East vast
Hideo Shite
Saint Hayashi
Kohei Noguchi
East vast
Application Number:
JP2023199000A
Publication Date:
February 14, 2024
Filing Date:
November 24, 2023
Export Citation:
Assignee:
東京エレクトロン株式会社
International Classes:
G01N15/06; G01N15/075; G01N21/85
Attorney, Agent or Firm:
Yoshiki Hasegawa
Yoshiki Kuroki
Junji Kashiwaoka
Shigeki Matsuo
Mao Nakamura
Yoshiki Kuroki
Junji Kashiwaoka
Shigeki Matsuo
Mao Nakamura
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