Title:
成膜用反応性ガスを射出するためのヘッドとその製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024021368
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】成膜装置内で成膜用反応性ガスを均一に射出可能なヘッド、およびその製造方法を提供すること。【解決手段】ヘッドの製造方法は、第１のプレートと第２のプレートを互いに拡散接合すること、および、拡散接合の後、第１のプレートと第２のプレートの表面にニッケル含有膜を無電解めっきで形成することを含む。第１のプレートと第２のプレートは、接合された状態において、反応性ガスが第１のプレート側から第２のプレート側へ通過する流路を有するように構成される。【選択図】図５
Inventors:
Yoshihito Araki
Noriyoshi Kaneda
Noriyoshi Kaneda
Application Number:
JP2022124151A
Publication Date:
February 16, 2024
Filing Date:
August 03, 2022
Export Citation:
Assignee:
Nippon Jojo Co., Ltd.
International Classes:
C23C16/455
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Corporation Takahashi Hayashi and Partners