Title:
高解像度レーザ誘起前方転写
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2022510826
Kind Code:
A
Abstract:
レーザ誘起前方転写（ＬＩＦＴ）のための方法およびシステムにおいて、エネルギー（Ｅ１、Ｅ２）が非ガウス強度プロファイル（Ｉｘｙ）に従って付与され、強度プロファイル（Ｉｘｙ）は、転写期間（Ｔｔ）の間にドナー材料（１１ｍ）をドナー基板（１１）とアクセプタ基板（１２）との間の転写距離（Ｚｔ）に瞬間的に架橋する伸長ジェット（Ｊｅ）としてドナー基板から放出させるように、ドナー材料（１１ｍ）の界面（１１ｘｙ）にわたって空間的に調整される。強度プロファイル（Ｉｘｙ）の中心における局所的に増加した強度スパイク（Ｉｓ）が、ドナー材料の相対的に太いジェット（Ｊ１）をドナー基板（１１）とアクセプタ基板（１２）との間の分岐位置（Ｊ１２）において相対的に細いジェット（Ｊ２）へ分岐させる。太いジェット（Ｊ１）が相対的に大きい転写距離（Ｚｔ）を許容する一方で、細いジェット（Ｊ２）はドナー材料（１１ｍ）の相対的に小さい液滴（Ｊｄ）を付着させる。
Inventors:
Gari Artinov
Application Number:
JP2021528419A
Publication Date:
January 28, 2022
Filing Date:
December 03, 2019
Export Citation:
Assignee:
Netherlandse Organisati Fall Tohepasto-Naturwetens Happelike Ondelsouk Tenou
International Classes:
C23C14/28; B41J2/385; B41J2/44; H05K3/10
Attorney, Agent or Firm:
Murayama Yasuhiko
Shinya Mihiro
Tatsuhiko Abe
Shinya Mihiro
Tatsuhiko Abe