Title:
マルチゾーン能力を備えた高温窒化アルミニウムヒータ
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2022550504
Kind Code:
A
Abstract:
電気ヒータ装置の実施形態を開示する。１つの実施形態では、電気ヒータ装置が、（ａ）電気絶縁材料を含む第１の熱伝導層と、（ｂ）第１の熱伝導層の上面に配置された１又は２以上の溝に配置された１又は２以上の導電性加熱素子と、（ｃ）１又は２以上の加熱素子を覆って第１の熱伝導層の上面に配置された第２の熱伝導層とを含む。１又は２以上の加熱素子は、炭素、窒素、アルミニウム、イットリウム又は酸素のうちの少なくとも１つでドープされた１又は２以上の耐火硬質金属を含む。ドープされた１又は２以上の耐火硬質金属は、周囲温度～約８５０℃の動作温度にわたって、ドープされていない耐火硬質金属と比べて温度に影響されにくい電気抵抗を含む。１又は２以上の加熱素子は、１又は２以上の加熱ゾーンを提供するように独立して制御可能である。【選択図】図１
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Inventors:
Lal Anendra
Sane Ajit
Sane Ajit
Application Number:
JP2022512284A
Publication Date:
December 02, 2022
Filing Date:
April 21, 2020
Export Citation:
Assignee:
Therm-X of California, Inc.
International Classes:
H05B3/12; C04B35/56; C04B35/581; H05B3/16; H05B3/74
Attorney, Agent or Firm:
Shinichiro Tanaka
Yoshi Kazuhiko Ta
Hiroyuki Suda
Ichiro Kurasawa
Yasushi Yamamoto
Hiroko Suzuki
Ken Iwagami
Yoshi Kazuhiko Ta
Hiroyuki Suda
Ichiro Kurasawa
Yasushi Yamamoto
Hiroko Suzuki
Ken Iwagami