Title:
中空コアフォトニック結晶ファイバベースの広帯域放射ジェネレータ
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023540186
Kind Code:
A
Abstract:
複数の光ファイバを含むファイバアセンブリであって、各光ファイバがガス状媒体で満たされる、ファイバアセンブリを含む広帯域放射源デバイスであって、光ファイバのサブセットが、何れの時点においても上記複数の光ファイバの１つのサブセットからのみ広帯域出力を発生させるために、入力放射のビームの受信の対象として個別に選択可能であるように動作可能である、広帯域放射源デバイス。【選択図】 図１４
Inventors:
travers, john, colin
Belli, Federico
Brahms, Malte, Christian
Browns, Andreas, Johannes, Antonius
Fujas, Ronald, Francis, Hermann
Belli, Federico
Brahms, Malte, Christian
Browns, Andreas, Johannes, Antonius
Fujas, Ronald, Francis, Hermann
Application Number:
JP2023511978A
Publication Date:
September 22, 2023
Filing Date:
August 04, 2021
Export Citation:
Assignee:
ASM L Netherlands B.V.
International Classes:
G02F1/365; G01B11/24; G02B6/02; G02B6/04; G02B6/32; G02B6/42; G03F9/00
Attorney, Agent or Firm:
Yoshiyuki Inaba
Toshifumi Onuki
Akihiko Eguchi
Kazuhiko Naito
Toshifumi Onuki
Akihiko Eguchi
Kazuhiko Naito