Title:
物理的気相成長（ＰＶＤ）用ターゲットの製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2022523357
Kind Code:
A
Abstract:
ＰＶＤターゲットを構築および／または完成するための方法であって、該方法は、添加法を使用してターゲット材料が添加されるプロセス工程を含む。
Inventors:
Zikin, Arkadi
Widrigues, Beno
Lamb, Jagen
Andres, Stefan
Widrigues, Beno
Lamb, Jagen
Andres, Stefan
Application Number:
JP2021549269A
Publication Date:
April 22, 2022
Filing Date:
February 24, 2020
Export Citation:
Assignee:
Oerlikon Surface Solutions Arge, Pufefikon
International Classes:
C23C14/34; B22F7/04; B22F10/25; C23C26/00
Attorney, Agent or Firm:
Tomokazu Adachi
Takeyoshi Fukuda
Takeyoshi Fukuda