Title:
被加工物の切削方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024035879
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】加工効率を向上させることが可能な被加工物の切削方法を提供する。【解決手段】切削ブレードで被加工物を切削する被加工物の切削方法であって、第１スピンドルの先端部に装着された第１ブレードマウントに切削ブレードを固定する第１固定ステップと、第１ブレードマウントに固定された切削ブレードをドレッシングすることによって、第１スピンドルの回転軸から切削ブレードの外周縁までの距離のばらつきが許容範囲内に収まるように切削ブレードの形状を修正する修正ステップと、第１ブレードマウントから切削ブレードを取り外す取り外しステップと、第２スピンドルの先端部に装着された第２ブレードマウントに切削ブレードを、切削ブレードと第２ブレードマウントとの位置関係が第１固定ステップにおける切削ブレードと第１ブレードマウントとの位置関係と一致するように固定する第２固定ステップと、第２ブレードマウントに固定された切削ブレードで被加工物を切削する切削ステップと、を含む。【選択図】図３
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Inventors:
King Kusunoki
Yusuke Sato
Atsushi Komatsu
Masahiro Takekawa
Kensuke Furuta
Yusuke Sato
Atsushi Komatsu
Masahiro Takekawa
Kensuke Furuta
Application Number:
JP2022140485A
Publication Date:
March 15, 2024
Filing Date:
September 05, 2022
Export Citation:
Assignee:
Disco Co., Ltd.
International Classes:
B24B53/00; B24B27/06; B24B45/00; H01L21/301
Attorney, Agent or Firm:
Akira Matsumoto
Tomohiro Okamoto
Takahiro Kasahara
Hideaki Okamoto
Takayuki Okano
Toshikazu Imato
Tomohiro Okamoto
Takahiro Kasahara
Hideaki Okamoto
Takayuki Okano
Toshikazu Imato
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