Title:
研磨装置及び乾式研磨工具の高さ位置の設定方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024029312
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】ドレスユニットの支持テーブルに残存する粉塵の量を低減する。【解決手段】被加工物に対して乾式研磨を施す研磨装置であって、被加工物を保持する保持テーブルと、スピンドル及びマウントを有し、マウントを介してスピンドルに乾式研磨工具が装着される研磨ユニットと、研磨ユニットを上下方向に沿って移動させる移動機構と、保持テーブルで保持された被加工物に対して乾式研磨を施す際に所定位置に配置された保持テーブル及び被加工物の上方及び側方を覆い、加工室を規定する加工室カバーと、加工室カバーに固定され、粉塵を吸引するためのダクトと、加工室内に配置されている支持テーブルと、支持テーブルの上面に設けられており、乾式研磨工具をドレッシングするためのドレス部と、支持テーブルの上面に堆積した粉塵を吹き飛ばすための気体を支持テーブルの上面に対して噴射可能な気体噴射部と、を備える研磨装置を提供する。【選択図】図１
Inventors:
Masashi Hamabuchi
Application Number:
JP2022131501A
Publication Date:
March 06, 2024
Filing Date:
August 22, 2022
Export Citation:
Assignee:
Disco Co., Ltd.
International Classes:
B24B7/04; B23Q11/00; B23Q11/08; B24B53/02; B24B55/06; H01L21/304
Attorney, Agent or Firm:
Akira Matsumoto
Tomohiro Okamoto
Takahiro Kasahara
Hideaki Okamoto
Takayuki Okano
Toshikazu Imato
Tomohiro Okamoto
Takahiro Kasahara
Hideaki Okamoto
Takayuki Okano
Toshikazu Imato