Title:
アルミニウム層をインサイチュで保護する方法及びＶＵＶ波長域用の光学装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2022515334
Kind Code:
A
Abstract:
本発明は、ＶＵＶ波長域用の光学装置の内部に配置された光学素子（４）のＶＵＶ放射線（１１、２１）反射コーティング（６）のアルミニウム層（７）の表面（７ａ）を、酸化アルミニウム層（８）の成長からインサイチュで保護する方法であって、アルミニウム層の表面から酸化アルミニウム層（８）を１層ずつ除去するために原子層エッチングプロセスを実行することを含み、原子層エッチングプロセスは、表面改質ステップ及び材料剥離ステップを含み、表面改質ステップ中に、少なくとも１つのハロゲン化ホウ素を表面改質反応物として内部にパルス状に供給し、少なくとも材料剥離ステップ中に、内部において酸化アルミニウム層（８）の表面（８ａ）でプラズマを発生させ、原子層エッチングプロセスを、酸化アルミニウム層（８）の厚さ（Ｄ）が５ｎｍ未満に達するまで実行するか、又は原子層エッチングプロセスにより、酸化アルミニウム層（８）の厚さ（Ｄ）を５ｎｍ未満に保つ方法に関する。本発明は、ＶＵＶ波長域用の光学装置、例えば検査システム又はＶＵＶリソグラフィ装置にも関する。
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Inventors:
Vitaly Schrobert
Application Number:
JP2021532158A
Publication Date:
February 18, 2022
Filing Date:
December 04, 2019
Export Citation:
Assignee:
Carl Zeiss SGM Gaehha
International Classes:
H01L21/3065
Attorney, Agent or Firm:
Kenji Sugimura
Mitsutsugu Sugimura
Kosuke Miyatani
Mitsutsugu Sugimura
Kosuke Miyatani