Title:
情報処理装置、機械学習装置、情報処理方法、及び、機械学習方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024038618
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】基板処理が行われたときに交流電力線から生じる電磁波の影響を適切に予測することを可能とする情報処理装置を提供する。【解決手段】情報処理装置５は、交流電源に交流電力線を介して接続された交流機器と、基板に処理部材を接触させつつ基板又は処理部材に処理流体を供給する基板処理を行うために交流機器を制御する制御盤とを備える基板処理装置により基板処理が行われたときに交流機器に供給される交流電流の電流値情報を生成する電流値情報生成部５０１と、電流値情報生成部５０１により生成された電流値情報に基づいて、交流電力線から生じる電磁波の影響を示す電磁波影響情報を生成する電磁波影響情報生成部５０２と、を備える。【選択図】 図１７
Inventors:
Seiji Murata
Yusuke Sasaya
Keisuke Sakata
Yusuke Sasaya
Keisuke Sakata
Application Number:
JP2022142752A
Publication Date:
March 21, 2024
Filing Date:
September 08, 2022
Export Citation:
Assignee:
Ebara Corporation
International Classes:
H01L21/02; G06N20/00; H01L21/304
Attorney, Agent or Firm:
Jun Aoyama
Masataka Aiba
Masataka Aiba
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