Title:
検査装置及び検査方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024000658
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】気圧の変化による収差の増大を抑制することができる検査装置及び検査方法を提供する。【解決手段】本開示に係る検査装置１は、試料８０を照明する照明光Ｌ１０を集光するとともに、試料８０で反射した反射光Ｒ１０を透過させる対物レンズ部３０と、対物レンズ部３０を透過した反射光Ｒ１０を検出する検出部５０と、対物レンズ部３０に供給するパージガス３６を生成するパージガス生成部７０と、を備え、対物レンズ部３０は、複数のレンズ３２と、レンズ３２とレンズ３２との間にパージガス３６を供給する供給路３５と、を有し、パージガス生成部７０は、第１のガス７４ａの流量を調整する第１の調整部７２ａと、パージガス３６の屈折率を小さくする第２のガス７４ｂの流量を調整する第２の調整部７２ｂと、パージガス３６の屈折率を大きくする第３のガス７４ｃの流量を調整する第３の調整部７２ｃと、を有する。【選択図】図１
Inventors:
Takehisa
Haruhiko Kusunose
Haruhiko Kusunose
Application Number:
JP2022099472A
Publication Date:
January 09, 2024
Filing Date:
June 21, 2022
Export Citation:
Assignee:
Lasertec Co., Ltd.
International Classes:
G02B7/02; G01N21/88; G01N21/956; G03B11/00; G03B15/00; G03B15/02; G03B15/05
Attorney, Agent or Firm:
Ken Ieiri
Yasuhiro Iwase
Yasuhiro Iwase
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