Title:
非円形瞳を有する検査システム
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2022517067
Kind Code:
A
Abstract:
検査システムであり、極端紫外（ＥＵＶ）光を生成するよう構成された照明源と、照明瞳分布に対応するオフ軸入射角域内で標本にそのＥＵＶ光を差し向ける照明光学系と、撮像瞳分布に対応する集光角域内でその入射ＥＵＶ光に応じ標本からもたらされる光を集める集光光学系と、集光光学系により集められた光のうち少なくとも一部分を受け取るよう構成された検出器と、を有する。更に、照明瞳分布の中心を、標本上での第１方向に沿ったオフ軸入射角に対応させ、照明瞳分布及び撮像瞳分布のうち少なくとも一方を非円形とし、その非円形の第１方向沿いサイズをその第１方向に対し垂直な第２方向に沿ったサイズより短くする。
Inventors:
Kvarmedamon
Sirui-Fan
Vaccine Daniel
Josunhyeon Joshua
E Shin Lori
Sirui-Fan
Vaccine Daniel
Josunhyeon Joshua
E Shin Lori
Application Number:
JP2021539928A
Publication Date:
March 04, 2022
Filing Date:
January 09, 2020
Export Citation:
Assignee:
KLA Corporation
International Classes:
G03F1/84; G01N21/956; G03F1/24
Attorney, Agent or Firm:
Patent Corporation yki International Patent Office
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