Title:
集積検出器装置および集積検出器装置の製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023552144
Kind Code:
A
Abstract:
Ｘ線光子の直接検出のための集積検出器装置（１）は、基板部分（１１）と、基板部分の主面上に配置された誘電体部分（１２）とを備えるＣＭＯＳ本体（１０）と、チャージコレクタを形成するためのインプラント（１３）を主面またはその上方に有するＣＭＯＳ本体（１０）内の集積回路と、チャージコレクタから、誘電体部分（１２）の基板部分（１１）とは反対側の当接面（１５）まで延在する誘電体部分（１２）内の金属構造体（１４）と、を備える。装置はさらに、誘電体部分の当接面（１５）上に配置された吸収体部分（２０）であって、金属構造体（１４）と電気的に接触する吸収体素子（２１）と、電気的接触を形成する吸収体素子（２１）と直接接触する電極構造体（３０）と、を含む吸収体部分を備える。吸収体素子（２１）はＸ線光子を吸収し、吸収されたＸ線光子に基づいて電荷を生成するように構成される。【選択図】 図６
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Inventors:
hofrichter jens
Application Number:
JP2023532355A
Publication Date:
December 14, 2023
Filing Date:
November 18, 2021
Export Citation:
Assignee:
AMS INTERNATIONAL AG
International Classes:
H01L27/144; H01L27/146; H01L31/08
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Corporation Washida International Patent Office