Title:
イオンガン及び真空処理装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6985570
Kind Code:
B1
Abstract:
イオンガンは、アノードと、アノードに対向する第１部分及び第２部分を有するカソードと、第１部分と第２部分との間に空間磁場を形成する磁石と、を有する。カソードの第１部分と第２部分との間には、曲線部を含む環状の間隙が設けられている。磁石は、曲線部の第１部分と第２部分との間に、間隙の断面中心線よりも内側にボトムを有する磁力線を形成する。
Inventors:
Tsutomu Hiroishi
Sakamoto Reiji
Yakushigami Hiroshi
Sakamoto Reiji
Yakushigami Hiroshi
Application Number:
JP2021562052A
Publication Date:
December 22, 2021
Filing Date:
July 08, 2021
Export Citation:
Assignee:
Canon ANELVA Corporation
International Classes:
H01J37/08; H01J27/14
Domestic Patent References:
| JP2008053116A | 2008-03-06 |
Foreign References:
| US20120187843A1 | 2012-07-26 | |||
| WO2019182111A1 | 2019-09-26 | |||
| CN109065429A | 2018-12-21 | |||
| US5763989A | 1998-06-09 |
Attorney, Agent or Firm:
Okabe
Koji Yoshizawa
Haruhiko Mimura
Yoichi Okabe
Koji Yoshizawa
Haruhiko Mimura
Yoichi Okabe