Title:
イオン化デバイス及び質量分析計
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2022536086
Kind Code:
A
Abstract:
本発明は、容器（１１）内に形成されたイオン化空間（１０）と、イオン化されるガス（２）をイオン化空間（１０）に供給するための吸入システム（６）と、電子ビーム（１９ａ）をイオン化空間（１０）に供給するための少なくとも１つのフィラメント（１５ａ，ｂ）を有する電子源（１４）と、イオン化されたガス（２ａ）をイオン化空間（１０）から排出するための排出システム（１３）とを備える、イオン化デバイス（１２）に関する。フィラメント（１５ａ，ｂ）とイオン化空間（１０）との間には、少なくとも２つの電極（１７ａ－ｃ，１８ａ－ｃ）を備える電子光学系（１６ａ，ｂ）が配置され、及び／又は、イオン化デバイス（１２）は、電子源（１２）のフィラメント（１５ａ，ｂ）において、イオン化空間（１０）内の圧力（ｐ）よりも低い圧力（ｐF）を発生させるように設計された真空発生デバイス（２１）を有する。また、本発明は、上述のように設計されたイオン化デバイス（１２）と、イオン化デバイス（１２）内でイオン化された分析されることになるガス（２ａ）を検出するための検出器（２４）とを備える質量分析計（１）に関する。【選択図】図１
Inventors:
Blachthauser Jessica
Venter Torsten
Sinius Marco
Aliman Michel
Venter Torsten
Sinius Marco
Aliman Michel
Application Number:
JP2021571919A
Publication Date:
August 12, 2022
Filing Date:
May 11, 2020
Export Citation:
Assignee:
Leybold GmbH
International Classes:
H01J49/14; G01N27/62; H01J27/20; H01J49/04; H01J49/24; H01J49/26
Attorney, Agent or Firm:
Shinichiro Tanaka
Yoshi Kazuhiko Ta
Hiroyuki Suda
Ichiro Kurasawa
Yasushi Yamamoto
Hiroko Suzuki
Kosuke Yamamoto
Yoshi Kazuhiko Ta
Hiroyuki Suda
Ichiro Kurasawa
Yasushi Yamamoto
Hiroko Suzuki
Kosuke Yamamoto
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