Title:
貼合済部材製造装置及び貼合済部材の製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP7431374
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】構成を簡略化した貼合済部材製造装置及び貼合済部材の製造方法を提供する。【解決手段】貼合済部材製造装置１は、載置面１２を有する支持部材１１と、カメラ２１と、第２の部材８２に貼り合わせる際に第１の部材８１を支えるステージ３４と、支持部材１１を移動させる移動装置１３と、制御装置５０とを備える。制御装置５０は、載置面１２に対し標準位置に載置された第１の部材８１の位置があらかじめ記憶されていると共に、カメラ２１で撮像された第１の部材８１の標準位置からのずれを求め、受渡位置Ｐ３に移動した際に、求めたずれ分が修正されていて第１の部材８１が適正位置となる位置に支持部材１１を移動させる。貼合済部材の製造方法は、カメラ２１で撮像した第１の部材８１の標準位置からのずれを求め、このずれ分を修正して第１の部材８１を適正位置に移動させ、第１の部材８１をステージ３４に受け渡して第２の部材８２を貼り合わせる。【選択図】図１
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Inventors:
Yutaka Matsumoto
Masahiro Sudo
Shota Iino
Masahiro Sudo
Shota Iino
Application Number:
JP2023087197A
Publication Date:
February 14, 2024
Filing Date:
May 26, 2023
Export Citation:
Assignee:
Origin Co., Ltd.
International Classes:
G05D3/00; G02F1/13; H01L21/677; H01L21/68
Domestic Patent References:
| JP2010231128A |
Foreign References:
| WO2014119542A1 |
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Corporation Taiyo International Patent Office