Title:
露光用照明装置、露光装置及び露光方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2019059315
Kind Code:
A1
Abstract:
インテグレータ部（９０）は、２枚のフライアイレンズ（９１，９２）を備え、フライアイレンズ間隔調整機構（９５）が２枚のフライアイレンズ（９１，９２）の光軸方向の間隔（ｄ）を変更する。２枚のフライアイレンズ（９１，９２）の光軸方向の間隔（ｄ）は、ミラー曲げ機構（７０）による平面ミラー（６８）の反射面の形状変更に応じて変更され、ミラー曲げによる露光面での平均照度値の変化を補正する。ミラー曲げに起因する露光面での平均照度値の変化を補正することで、タクトタイムのばらつきを抑制することができる露光用照明装置、露光装置及び露光方法を提供する。
Inventors:
Yoshiyuki Enomoto
Kawashima Hironori
Kawashima Hironori
Application Number:
JP2019543713A
Publication Date:
September 03, 2020
Filing Date:
September 20, 2018
Export Citation:
Assignee:
Buoy Technology Co., Ltd.
International Classes:
G03F7/20; G02B3/00; G02B19/00
Attorney, Agent or Firm:
Patent business corporation glory patent office