液供給ユニット及び液供給方法

Title:

液供給ユニット及び液供給方法

Document Type and Number:

Japanese Patent JP7337989

Kind Code:

B1

Abstract:

【課題】本発明の実施例は、液供給ユニットを提供する。【解決手段】このために一実施例で液供給ユニットは、ノズルと、ノズルで処理液を供給する液供給管と、液供給管に設置されて処理液内の不純物を除去する不純物除去ユニットを含み、不純物除去ユニットは、処理液内の不純物の特性を測定して不純物データを形成する測定部と、処理液に振動を加える振動部と、振動が加えられた処理液内の不純物を吸着する捕捉部と、そして、測定部と振動部を制御する制御部を含み、制御部は、不純物データが基準データ範囲を超過する場合振動部を作動させることができる。【選択図】図５

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Inventors:

Ko, Junsuk
Kim, Kuk Seng
Im, Do-yoon
Jung, Wang Hee

Application Number:

JP2022043630A

Publication Date:

September 04, 2023

Filing Date:

March 18, 2022

Export Citation:

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Assignee:

Cemes Company, Limited

International Classes:

H01L21/027; B01D29/01; B01J4/00; B03C5/00; B05C11/10; B05D1/40; B05D3/00; H01L21/304

Domestic Patent References:

JP2017033991A
JP10076213A
JP2019009215A
JP2005136186A
JP2001121063A
JP2281727A

Foreign References:

US20140370439

Attorney, Agent or Firm:

Ryoichi Takaoka
Nao Oda
Akiyo Iwahori
Rena Miyoshi
Kamoto Takahashi

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