Title:
カーボネートパッシベーションを用いた、リチウム金属表面改質
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023553398
Kind Code:
A
Abstract:
例示的な処理方法は、リチウム膜を第１のシャワーヘッドの下方に移送することを含み得る。本方法は、第１のシャワーヘッドを通じてリチウム膜上に、酸化剤ガスを導入することを含み得る。本方法は、酸化物単分子層をリチウム膜上で形成することを含み得る。酸化物単分子層は、リチウム膜上に吸着された酸化剤ガスであり得るか、又はこれを含み得る。本方法は、酸化物単分子層の形成後に、リチウム膜を第２のシャワーヘッドの下方に移送することを含み得る。本方法は、第２のシャワーヘッドを通じてリチウム膜上に、炭素源ガスを導入することを含み得る。本方法はまた、酸化物単分子層と炭素源ガスとの反応によって、酸化物単分子層をカーボネートパッシベーション層に変換することを含み得る。【選択図】図３Ｂ
Inventors:
Seville, Alejandro
Ray, Waytion
Gopalakrishnan Nair, Girishkumar
Langa Sammy, Eziil Murgan
Ishikawa, David Masayuki
Hale, Suramania P.
Ray, Waytion
Gopalakrishnan Nair, Girishkumar
Langa Sammy, Eziil Murgan
Ishikawa, David Masayuki
Hale, Suramania P.
Application Number:
JP2023533600A
Publication Date:
December 21, 2023
Filing Date:
November 29, 2021
Export Citation:
Assignee:
APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
International Classes:
C23C16/44; C23C16/32; C23C16/40; C23C16/455
Attorney, Agent or Firm:
Sonoda & Kobayashi Patent Attorneys Corporation
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