Title:
センサ付マグネットバー
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2022528421
Kind Code:
A
Abstract:
スパッタマグネトロンシステムのためのマグネットバー構造（１０１）は、マグネットバー構造（１０１）の上に取り付けられた状態で、チューブ状スパッタリングターゲット（２００）の固有および／または外因特性を検知する検知デバイス（１１０）を有するマグネットバー（１０２）を備える。【選択図】図１
Inventors:
Humble, Frances Taylor
De Boschel, Will Mart
Van de Putte, Ivan
De Boschel, Will Mart
Van de Putte, Ivan
Application Number:
JP2021559298A
Publication Date:
June 10, 2022
Filing Date:
March 31, 2020
Export Citation:
Assignee:
Soleras Advanced Coatings Bevy
International Classes:
C23C14/34; C23C14/35; H01J23/10
Attorney, Agent or Firm:
Okuyama Shoichi
Nakamura Ayako
Soji Morimoto
Yu Tanaka
Miho Amiya
Kohei Arihara
Nakamura Ayako
Soji Morimoto
Yu Tanaka
Miho Amiya
Kohei Arihara
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