Title:
Manufacturing method of organic EL device and film forming equipment
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6330112
Kind Code:
B1
Abstract:
本開示の有機ＥＬデバイスの製造方法は、基板と、前記基板上に配列された複数の有機ＥＬデバイスとを備える素子基板を用意する工程と、前記素子基板に薄膜封止構造を形成する工程とを含む。薄膜封止構造を形成する工程は、第１無機バリア層を素子基板上に形成する工程と、第１無機バリア層上に光硬化性樹脂を凝縮させる工程と、レーザビームによって光硬化性樹脂の選択された複数の領域を照射し、光硬化性樹脂の少なくとも一部を硬化させて光硬化樹脂層を形成する工程と、光硬化性樹脂の硬化しなかった部分を除去する工程と、光硬化樹脂層を覆う第２無機バリア層を前記第１無機バリア層上に形成する工程とを含む。
Inventors:
Katsuhiko Kishimoto
Application Number:
JP2017559136A
Publication Date:
May 23, 2018
Filing Date:
March 08, 2017
Export Citation:
Assignee:
Sakai Display Products Co., Ltd.
International Classes:
H05B33/10; B05C9/12; B05D3/06; G09F9/30; H01L27/32; H01L51/50; H05B33/02; H05B33/04; H05B33/06
Domestic Patent References:
| JP2003347045A | 2003-12-05 | |||
| JP2013187190A | 2013-09-19 | |||
| JP2008161749A | 2008-07-17 | |||
| JP2015176717A | 2015-10-05 | |||
| JP2016076467A | 2016-05-12 | |||
| JP2014179278A | 2014-09-25 | |||
| JP2016039078A | 2016-03-22 | |||
| JP2013247021A | 2013-12-09 | |||
| JP2007250370A | 2007-09-27 |
Foreign References:
| WO2012053532A1 | 2012-04-26 | |||
| WO2005101542A1 | 2005-10-27 |
Attorney, Agent or Firm:
Seiji Okuda
Osamu Kita
Ryoji Yamashita
Akiko Miyake
Murase Nariyasu
Rinko Kita
Osamu Kita
Ryoji Yamashita
Akiko Miyake
Murase Nariyasu
Rinko Kita
Previous Patent: A photographing instrument and a method for controlling the same
Next Patent: LIQUID LEAKAGE PREVENTION DEVICE
Next Patent: LIQUID LEAKAGE PREVENTION DEVICE