Title:
多結晶シリコン破砕物の製造方法および多結晶シリコンの破砕装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP5637063
Kind Code:
B2
Inventors:
多田 竜佐
佐藤 繁
佐藤 繁
Application Number:
JP2011107706A
Publication Date:
December 10, 2014
Filing Date:
May 12, 2011
Export Citation:
Assignee:
三菱マテリアル株式会社
International Classes:
C01B33/02; B02C4/08; B02C4/30; B02C21/00; B02C23/10
Attorney, Agent or Firm:
Aoyama Masakazu