機械動力導入装置

Japanese Patent JP3164117

U

【課題】コストを低く抑えることができると共に、摩擦を軽減して部材の摩耗を避けることができる機械動力導入装置を提供する。【解決手段】仕切座２が真空チャンバーの気密状態を保つように真空チャンバーの壁体の外面に取り付けられている。入力手段３の入力軸座５が仕切座２の外部に回転可能に設けられ、複数の第１の磁性ユニット３３が入力軸座５に取り付けられている。出力手段４の出力軸座６が仕切座２の収容空間内に取り付けられ、複数の第２の磁性ユニット４３が出力軸座６に取り付けられている。複数の第２の磁性ユニット４３はそれぞれ第１の磁性ユニット３３に対応するように出力手段４の出力座体６１に取り付けられ、入力軸座５が回転すると、第１の磁性ユニット３３及び第２の磁性ユニット４３間の磁力作用によって回転するように設けられている。【選択図】図２

Zhang Kaizheng

JP2010005940U

November 11, 2010

September 03, 2010

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EFUN TECHNOLOGY CO.,LTD.

H02K49/10

Yasuhiko Murayama
Masatake Shiga
Takashi Watanabe
Shinya Mitsuhiro

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