膜前駆体蒸発システムにおいて使用される膜前駆体のトレーおよびその使用方法

Title:

膜前駆体蒸発システムにおいて使用される膜前駆体のトレーおよびその使用方法

Document Type and Number:

Japanese Patent JP4960720

Kind Code:

B2

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Inventors:

Kenji Suzuki
Emmanuel Paguidotti
Herit Ye Liu Sync
Masamichi Hara
Daisuke Kuroiwa
Tadashi Ishizaka

Application Number:

JP2007031015A

Publication Date:

June 27, 2012

Filing Date:

February 09, 2007

Export Citation:

Assignee:

東京エレクトロン株式会社
ト-キョ-・エレクトロン・アメリカ・インコーポレーテッド

International Classes:

C23C16/448; H01L21/285

Domestic Patent References:

Attorney, Agent or Firm:

Tadahiko Ito

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