Title:
トリアゼニド配位子を有する金属錯体及び気相から金属を堆積させるためのその使用
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2021507102
Kind Code:
A
Abstract:
本発明は、式Ｒ１−Ｎ３−Ｒ２［式中、Ｒ１及びＲ２は炭化水素部分である］の少なくとも１つの配位子を有する金属錯体の使用であって、気相から金属又は金属の化合物を堆積させるための使用に関する。本発明は、金属錯体から金属を堆積させる方法、並びに金属錯体、置換トリアゼン化合物、及びそれらの製造方法に更に関する。
Inventors:
Jork Sundermeier
Zuzane Pulls
Fabian Schroeder
Zuzane Pulls
Fabian Schroeder
Application Number:
JP2020532735A
Publication Date:
February 22, 2021
Filing Date:
December 12, 2018
Export Citation:
Assignee:
Umicore AG & Co.KG
International Classes:
C23C16/18; C07C245/24; C07F1/08; C07F1/10; C07F1/12; C07F3/00; C07F3/04; C07F3/10; C07F5/00; C07F5/06; C07F7/00; C07F7/02; C07F9/90; C07F9/94; C07F15/00; C07F15/06
Other References:
OUSSAMA M.EL-KADRI ET AL.: "Film growth precursor development for metal nitrides. Synthesis, structure, and volatility of molybd", DALTON TRANSACTIONS, JPN7022005687, 1 January 2006 (2006-01-01), GB, pages 1943 - 1953, ISSN: 0004941586
KHALED SOUSSI ET AL.: "Asymmetrically substituted triazenes as poor electron donor ligands in the precusor chemistry of iro", DALTON TRANSACTIONS, vol. 46, no. 38, JPN7022005686, 1 January 2017 (2017-01-01), GB, pages 13055 - 13064, ISSN: 0004941587
KHALED SOUSSI ET AL.: "Asymmetrically substituted triazenes as poor electron donor ligands in the precusor chemistry of iro", DALTON TRANSACTIONS, vol. 46, no. 38, JPN7022005686, 1 January 2017 (2017-01-01), GB, pages 13055 - 13064, ISSN: 0004941587
Attorney, Agent or Firm:
Yasuhiko Murayama
Shinya Mitsuhiro
Tatsuhiko Abe
Shinya Mitsuhiro
Tatsuhiko Abe