Title:
現像廃液中の水酸化テトラメチルアンモニウムを回収して含窒素化合物を除去する方法及びその装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP7456027
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】バックエンド精製と電解透析の操作コストを低減し、より純度のより高い水酸化テトラメチルアンモニウムを製造する、回収したテトラメチルアンモニウムイオンに他の含窒素化合物を含まないようにする操作方法及び装置を提供する。【解決手段】現像廃液中の水酸化テトラメチルアンモニウム及び含窒素化合物を第１イオン樹脂３２１で吸着する第１吸着ステップと、現像廃液が高ｐＨ値及び高流速で第１イオン樹脂に流れるように制御し、第１イオン樹脂中の含窒素化合物を脱着させる第１制御ステップと、第１イオン樹脂中の含窒素化合物を脱着させた後、現像廃液の流動を停止する第２制御ステップと、第１イオン樹脂を再生して、テトラメチルアンモニウム塩溶液を取得する第３制御ステップと、を含む現像廃液中の水酸化テトラメチルアンモニウムを回収して含窒素化合物を除去する方法を提供する。【選択図】図３
Inventors:
Shujuan Xiao
Zhang Jingtang
Zhang Jingtang
Application Number:
JP2023006133A
Publication Date:
March 26, 2024
Filing Date:
January 18, 2023
Export Citation:
Assignee:
Mifuku Chemical Industry Co., Ltd.
International Classes:
C02F1/42
Domestic Patent References:
| JP2016174979A | ||||
| JP2015134344A | ||||
| JP201230208A | ||||
| JP6142649A | ||||
| JP452287B2 | ||||
| JP53136355A | ||||
| JP6226252A | ||||
| JP2007260632A | ||||
| JP2001205261A |
Foreign References:
| WO2014208509A1 |
Attorney, Agent or Firm:
Kenichi Fujii
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