Title:
ディープラーニングと熱交換法による導電性酸化ガリウムの製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023547495
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】本発明はディープラーニングと熱交換法による導電性酸化ガリウムの製造方法に関するものである。【解決手段】本発明のディープラーニングと熱交換法による導電性酸化ガリウムの予測方法は、導電性酸化ガリウム単結晶の製造データを獲得するステップであって、製造データは、種晶データ、環境データ、制御データ及び原料データを含み、制御データは種晶冷却媒体流量を含み、原料データはドーピングタイプデータと導電性ドーピング濃度を含むステップと、製造データを予め処理することにより事前処理製造データを獲得するステップと、事前処理製造データをトレーニング済みニューラルネットワークモデルに入力することにより導電性酸化ガリウム単結晶に対応する予測プロパティーデータを獲得するステップであって、前記予測プロパティーデータは予測キャリア濃度を含むステップとを含む。製造データを予め処理することにより事前処理製造データを獲得した後、事前処理製造データをトレーニング済みニューラルネットワークモデルに入力することにより導電性酸化ガリウム単結晶に対応する予測プロパティーデータを獲得し、製造データを調節することにより所定のキャリア濃度を有している導電性酸化ガリウムを獲得することができる。
Inventors:
Qi Hongji
Chen Duanyang
Chen Duanyang
Application Number:
JP2023526453A
Publication Date:
November 10, 2023
Filing Date:
February 08, 2021
Export Citation:
Assignee:
HANGZHOU FUJIA GALLIUM TECHNOLOGY CO. LTD.
International Classes:
C30B29/16; C30B11/00; G06N3/02
Attorney, Agent or Firm:
TRY International Patent Attorney Corporation