Title:
パラジウムコバルト酸化物ターゲット、デラフォサイト型酸化物ターゲット及びパラジウムコバルト酸化物ターゲットの製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024009708
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】パラジウムコバルト酸化物ターゲット、デラフォサイト型酸化物ターゲット及びパラジウムコバルト酸化物ターゲットの製造方法を提供する。【解決手段】パラジウムコバルト酸化物ターゲットは、パラジウムコバルト酸化物（ＰｄＣｏＯ２）の密度に基づいて算出した緻密度が６０％以上８０％以下で、表面のパラジウムコバルト酸化物の濃度が９０.０質量％以上９９．５質量％以下である。【選択図】無し
Inventors:
Yasushi Masahiro
Takeshi Numazaki
Takeshi Numazaki
Application Number:
JP2022111429A
Publication Date:
January 23, 2024
Filing Date:
July 11, 2022
Export Citation:
Assignee:
Tanaka Kikinzoku Kogyo Co., Ltd.
International Classes:
C04B35/01; C23C14/34
Attorney, Agent or Firm:
Kenji Sugimura
Mitsutsugu Sugimura
Naotoshi Kinoshita
Mitsutsugu Sugimura
Naotoshi Kinoshita