Title:
一定のアノードインピーダンスを備えたマイクロ波マグネトロンとそれを用いたシステム
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2022552157
Kind Code:
A
Abstract:
マイクロ波マグネトロンは、電子を放出するためのカソード、フィラメント電流を受け取ってカソードを加熱し、カソードが電子を放出することを可能にするためのフィラメント、及び電子の流れに影響を与えるためにアノード電力を印加できるアノードを含む。アノード電力入力は、アノードに印加されるアノード電力を受け取り、アノード電力は、アノード電流、アノード電圧、及びアノードインピーダンスによって特徴付けられ、アノードインピーダンスは、アノード電圧とアノード電流の商である。電磁石電力入力は、電磁石電力を受け取り、電磁石電力を電磁石に適用して、磁場の強度を制御し、電磁石電力は、電磁石電流によって特徴付けられる。コントローラはマグネトロンのパラメータの少なくとも１つを調整して、アノードインピーダンスを一定に保ちながら、電子の流れに影響を与える。
Inventors:
Francesco Bragirolli
Paolo Barocchi
Paolo Barocchi
Application Number:
JP2022520596A
Publication Date:
December 15, 2022
Filing Date:
July 17, 2020
Export Citation:
Assignee:
MKS INSTRUMENTS,INCORPORATED
International Classes:
H01J23/34; H01J23/02
Attorney, Agent or Firm:
Axis International Patent Attorney Corporation