Title:
多元系被膜の製造安定化装置と方法および多元系膜被覆工具
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2005001154
Kind Code:
A1
Abstract:
製造安定化装置および方法は、ＴｉＡｌＮ等の融点の大きく異なる金属成分を持つ多元系被膜を、単一のルツボ（３）と収束プラズマ（７）とを用いて、高原料利用効率で、膜質良く作製する。この時、原料（４）を蒸発させるに必要な電力を最初に供給し、その後、最初の電力より順次増大した電力を、必要な最大電力に至るまで繰り返して供給する。或いは、原料を蒸発させるに必要な最初の領域にプラズマ（７）を収束させるためのプラズマ制御を行い、続いて、最初のプラズマ領域より最大のプラズマ領域に至るまでプラズマを連続的に順次移動・拡大せしめるプラズマ制御を行い、原料の未溶融部位（４ｂ）を順次溶解させる。原料は、焼結体または圧粉成型体（４）とする。
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Inventors:
Tsugenori Sato
Masaru Sonobe
Norihiro Kato
Yasuoka Manabu
Masaru Sonobe
Norihiro Kato
Yasuoka Manabu
Application Number:
JP2005511083A
Publication Date:
November 09, 2006
Filing Date:
June 29, 2004
Export Citation:
Assignee:
Fujikoshi Co., Ltd.
International Classes:
C23C14/24; B23B27/14; B23B51/00; B23C5/16; B23P15/28; C23C14/06; C23C14/32
Attorney, Agent or Firm:
Hideto Asamura
Hajime Asamura
Toru Mori
Yutaka Yoshida
Hajime Asamura
Toru Mori
Yutaka Yoshida