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Title:
Multi-gate resonance channel transistor
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2016521034
Kind Code:
A
Abstract:
一実施形態は、基板上に形成される増幅器と、(a)複数のフィンを含む複数のトランジスタであり、複数のフィンのそれぞれは、共通のソースコンタクトおよびドレインコンタクトに連結されるソースノードとドレインノードとの間にチャネルを有する、複数のトランジスタと、(b)複数のフィンのそれぞれに連結され、かつソースコンタクトとドレインコンタクトとの間に配置される共通の第1のトライゲートおよび第2のトライゲートと、を含む、基板上に形成されるマルチゲート共振チャネルアレイと、を備える発振器を含み、第1のトライゲートおよび第2のトライゲートのうちの1つが周期的に活性化されて、複数のフィン上に複数の周期的な下向きの力を生成するとき、複数のフィンは、第1の振動数で機械的に共振する。複数の他の実施形態は、ソースノードとドレインノードとの間のチャネル、およびフィン上のトライゲートを有する非平面型トランジスタを含み、第1のトライゲートが周期的に活性化されて、フィン上に複数の周期的な下向きの力を生成するとき、フィンは機械的に共振する。複数の他の実施形態が本明細書において記載される。

Inventors:
Mani Patrani, Sassy
Kim, Rason
Bascaran, Rajasley
Docania, Rajeev K.
Young, Ian A.
Application Number:
JP2016505446A
Publication Date:
July 14, 2016
Filing Date:
March 28, 2013
Export Citation:
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Assignee:
INTEL CORPORATION
International Classes:
H03B5/02; B81B3/00; H01L29/786
Domestic Patent References:
JP2008206140A2008-09-04
JP2013009144A2013-01-10
JP2005228781A2005-08-25
JPH0215675A1990-01-19
Foreign References:
WO2006075717A12006-07-20
US20080087942A12008-04-17
US20080179635A12008-07-31
Attorney, Agent or Firm:
Longhua International Patent Service Corporation