Title:
【発明の名称】ベーパ乾燥装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP3059588
Kind Code:
B2
Inventors:
Minoru Tamura
Takeo Yoshii
Noboru Tanuma
Hiroshi Naohara
Tsutomu Robata
Kawamura Megumi
Takeo Yoshii
Noboru Tanuma
Hiroshi Naohara
Tsutomu Robata
Kawamura Megumi
Application Number:
JP23780592A
Publication Date:
July 04, 2000
Filing Date:
August 12, 1992
Export Citation:
Assignee:
株式会社日立製作所
日立電子エンジニアリング株式会社
日立電子エンジニアリング株式会社
International Classes:
F26B5/06; H01L21/304; (IPC1-7): H01L21/304
Domestic Patent References:
| JP2301139A | ||||
| JP6381931A | ||||
| JP62106630A | ||||
| JP548334U |
Attorney, Agent or Firm:
Tatsuya Kajiwara