Title:
新規の付加ナノ製造システムおよび方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2022536507
Kind Code:
A
Abstract:
チャンバおよびチャンバに着脱可能に接続されるノズルであって、開口部を規定するノズルと、チャンバ内に配設される目標カルーセルと、レーザプルームを形成するためインサイチュアブレーションを実施するように目標カルーセルに向けられる第１のビームを生成するように構成される第１のレーザと、ガスがレーザプルームと相互作用しナノ粒子の凝縮および形成をもたらすように、ガスをチャンバの中に供給するように構成されるガスフローシステムと、チャンバの内部を通りノズルの開口部を通りデバイスの外側に配設される基板に向けられる第２のビームを生成するように構成される第２のレーザであって、第２のレーザビームが、ノズルを出るナノ粒子を基板上で焼結および結晶化させるように構成される、第２のレーザと、を含むデバイス。
Inventors:
Masood Majouri-Samani
Nima Shamsay
Nima Shamsay
Application Number:
JP2021573560A
Publication Date:
August 17, 2022
Filing Date:
June 12, 2020
Export Citation:
Assignee:
Auburn University
International Classes:
C04B35/64; B22F1/08; B22F10/16; B22F12/44; B22F12/53; B33Y10/00; B33Y30/00
Attorney, Agent or Firm:
Murayama Yasuhiko
Shinya Mihiro
Tatsuhiko Abe
Shinya Mihiro
Tatsuhiko Abe