Title:
有機金属フォトレジスト現像剤組成物及び処理方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2022526031
Kind Code:
A
Abstract:
溶媒のブレンド物に基づく現像剤組成物が記述され、前記現像剤は特に有機金属系パターニング組成物を用いたＥＵＶパターニングに有効である。これらの現像組成物の使用方法が記載される。溶媒のブレンド物は、ハンセン溶解度パラメータに基づき選択することができる。一般的に、１つの溶媒はδＰ＋δＨの合計によって表される低極性を有し、現像剤の第２の溶媒成分はδＰ＋δＨの値が高い。対応する溶媒組成物が記述される。
Inventors:
Jian, Kai
Cardino, Brian Jay
McWade, Lauren Bee
Anderson, Jeremy Tee
Myers, Stephen Tee
Coxis, Michael
Nara Simhan, Amrit Kay
Cardino, Brian Jay
McWade, Lauren Bee
Anderson, Jeremy Tee
Myers, Stephen Tee
Coxis, Michael
Nara Simhan, Amrit Kay
Application Number:
JP2021560076A
Publication Date:
May 20, 2022
Filing Date:
April 10, 2020
Export Citation:
Assignee:
Inpria Corporation
International Classes:
G03F7/32; G03F7/004; H01L21/027
Domestic Patent References:
| JP2004512672A | 2004-04-22 | |||
| JP2018502173A | 2018-01-25 | |||
| JP2019500490A | 2019-01-10 | |||
| JPH1020488A | 1998-01-23 | |||
| JP2007226209A | 2007-09-06 |
Foreign References:
| US20180173096A1 | 2018-06-21 |
Attorney, Agent or Firm:
Yamato Kento
Haruhiko Ema
Haruhiko Ema