Title:
パッケージ型回転ポンプユニット
Document Type and Number:
Japanese Patent JP7019135
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】密閉筐体に内包された回転ポンプが、真空ポンプとして真空度が高い範囲で使用される場合でも、密閉筐体の内部空気が過熱されることを防止できることで、高いポンプ性能を維持でき、装置寿命を長期化できるパッケージ型回転ポンプユニットを提供する。【解決手段】気体を吸排気する回転ポンプ２及び電動モータ３を備える電動回転ポンプ２００と、該電動回転ポンプ２００を内包する密閉筐体１とを備えるパッケージ型回転ポンプユニットであって、密閉筐体１の内部に配され、密閉筐体１の外部に配された冷却液供給源４から冷却液の供給を受けて冷却される液冷熱交換器５と、密閉筐体１の内部に配され、回転ポンプ２の稼働によって該回転ポンプ２の周囲の空気が加熱されることで生じる加熱空気を含む密閉筐体１内の内部空気を、液冷熱交換器５へ、冷却させるように送る送風装置６とを備える。【選択図】図１
Inventors:
Kazuki Fukushima
Takamasa Hasebe
Yosuke Yoshida
Takamasa Hasebe
Yosuke Yoshida
Application Number:
JP2021170618A
Publication Date:
February 15, 2022
Filing Date:
October 19, 2021
Export Citation:
Assignee:
Orion Machinery Co., Ltd.
International Classes:
F04C29/04; F04B39/06
Domestic Patent References:
| JP2005041849A | 2005-02-17 | |||
| JP2005509786A | 2005-04-14 | |||
| JPS52118604A | 1977-10-05 | |||
| JP2016148283A | 2016-08-18 |
Attorney, Agent or Firm:
Yogo Kobayashi