Title:
圧電水晶センサのパッケージング方法及び圧電水晶センサ
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024008759
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】温度の影響を受けにくい圧電水晶センサのパッケージング方法及び圧電水晶センサを提供する。【解決手段】圧電センサウエハを形成するステップであって、圧電センサウエハの正面に位置する第１ピン領域と、裏面に位置する第２ピン領域とを含み、第１ピン領域と第２ピン領域が対角方向に設置されるステップと、第１水晶ウエハにおける、第１ピン領域に対応する位置に第１切り欠きを形成し、第２ピン領域に対応する位置に第２切り欠きを形成して、第１パッケージング側面部材を形成するステップと、第２水晶ウエハにおける、第２ピン領域に対応する位置に第３切り欠きを形成し、第１ピン領域に対応する位置に第４切り欠きを形成して、第２パッケージング側面部材を形成するステップと、第１パッケージング側面部材と圧電センサウエハの正面及び第２パッケージング側面部材と圧電センサウエハの裏面をそれぞれ結合するステップと、を含む。【選択図】図１
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Inventors:
Luwang
Application Number:
JP2022130657A
Publication Date:
January 19, 2024
Filing Date:
August 18, 2022
Export Citation:
Assignee:
CHENGDU TIMEMAKER CRYSTAL TECHNOLOGY CO., LTD
International Classes:
G01L9/08; G01L19/14; H10N30/30; H10N30/88
Attorney, Agent or Firm:
Koji Tsubouchi