Title:
パッド表面の再生および金属の回収
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024517999
Kind Code:
A
Abstract:
官能化化学平坦化パッドで基材を平坦化することからなる方法。官能化化学平坦化パッドには、パッドの材料に結合した複数の官能基が含まれる。前記官能基は、基材の一部がその官能基と結合するように、基材と化学反応するべく構成される。パッドは、官能基と官能基に結合した基材との結合を切断して除去された物質を形成するように構成された再生溶液を塗布することによって再生される。除去された物質は溶解錯化剤で錯化され、廃液相に溶解物質を形成する。
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Inventors:
Suryadevara, Babu
Misra, Zoot Hansh
Misra, Zoot Hansh
Application Number:
JP2024508997A
Publication Date:
April 23, 2024
Filing Date:
April 26, 2022
Export Citation:
Assignee:
ChemPower Corporation
International Classes:
B24B53/017; B24B37/24; B24B55/12; H01L21/304
Attorney, Agent or Firm:
Masami Sakai
Yoshikuni Suda
Yoshikuni Suda