Title:
粒子検出器及び粒子検出方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2005066657
Kind Code:
A1
Abstract:
検出器の電極の構成を改良することで、信号の読み取り本数を減らす。検出器の有感面積が大きくなっても、歪みのない高分解能イメージングを可能とする。入射粒子の位置を検出する電極を、入射粒子のグローバル位置を検出するグローバル位置検出用電極と、入射粒子のローカル位置を検出する複数のローカル位置検出用電極とから構成する。グローバル位置検出用電極から検出したグローバル位置情報とローカル位置検出用電極から検出したローカル位置情報とから、入射粒子の位置を特定する。複数のローカル位置検出用電極は複数の群に分けられており、各群に属するローカル位置検出用電極を共通の信号線に接続する。所定数のローカル位置検出用電極が一つのグローバル位置に対応しており、一つのグローバル位置に対応する該所定数のローカル位置検出用電極は互いに異なる群に属している。
Inventors:
Hiroyuki Takahashi
Kai Kei
Kai Kei
Application Number:
JP2005516887A
Publication Date:
December 20, 2007
Filing Date:
January 07, 2005
Export Citation:
Assignee:
Hiroyuki Takahashi
Kai Kei
Kai Kei
International Classes:
G01T1/18; G01T1/29; H01J47/06; H01J47/14
Attorney, Agent or Firm:
Shigeru Inaba