Title:
感光性接着剤
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2009072492
Kind Code:
A1
Abstract:
露光及び現像によってパターニングされた後に被着体に対する接着性を有し、アルカリ現像が可能な感光性接着剤であって、半導体チップ２０の回路面上に設けられた感光性接着剤１を露光及び現像によってパターニングする工程と、パターニングされた感光性接着剤１に他の半導体チップ２１を直接接着する工程と、を備える半導体装置１００の製造方法に用いるための、感光性接着剤。
Inventors:
Takashi Masuko
Takashi Kawamori
Mitsukura
Katogi Shigeki
Takashi Kawamori
Mitsukura
Katogi Shigeki
Application Number:
JP2009544676A
Publication Date:
April 21, 2011
Filing Date:
December 02, 2008
Export Citation:
Assignee:
Hitachi Chemical Co., Ltd.
International Classes:
C09J201/00; C09J4/00; C09J179/08
Domestic Patent References:
| JP2004022996A | 2004-01-22 |
Foreign References:
| WO2007004569A1 | 2007-01-11 | |||
| WO2007004345A1 | 2007-01-11 |
Attorney, Agent or Firm:
Yoshiki Hasegawa
Yoshinori Shimizu
Tomoya Furoshita
Yoshinori Shimizu
Tomoya Furoshita