Title:
感光性樹脂組成物、硬化物、硬化膜、および半導体装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024024623
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】低温硬化性であり、その硬化物が低誘電正接を有する、感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】式（ｔ）で表される基ｔを有するポリイミドを含む、第一のポリマーと、少なくとも１つの置換または無置換のマレイミド基を有するポリマーであって、前記第一のポリマーとは異なる第二のポリマーと、光増感剤と、酸化防止剤と、を含み、前記酸化防止剤は、ヒンダードフェノール化合物、チオエーテル化合物、ホスファイト化合物、およびホスホナイト化合物から選択される少なくとも１つを含む、感光性樹脂組成物であって、【化１】TIFF2024024623000054.tif29153式（ｔ）中、Ｒ１５およびＲ１６は、各々独立して、水素原子または炭素数１～３のアルキル基を示し、Ｑ２は２価の有機基を示し、＊は結合手を示す、感光性樹脂組成物。【選択図】なし
Inventors:
Taro Kitahata
Application Number:
JP2023130232A
Publication Date:
February 22, 2024
Filing Date:
August 09, 2023
Export Citation:
Assignee:
Sumitomo Bakelite Co., Ltd.
International Classes:
G03F7/027; C08G73/12; C08G81/02; G03F7/004; G03F7/038
Attorney, Agent or Firm:
Shinji Hayami