Title:
圧電素子、圧電アクチュエータ、ハードディスクドライブ、インクジェットプリンタ装置、および圧電センサ
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2015530728
Kind Code:
A
Abstract:
本発明に係る圧電素子（１００）には、一対の電極膜（８、１２）と、一対の電極膜（８、１２）の間に挟まれた圧電膜（１０）と、一対の電極膜の少なくとも一方（１２）の表面に、電極膜（１２）が圧電膜（１０）に接しない側で直接接する、当該電極膜（１２）および圧電膜（１０）の線膨張率よりも大きい線膨張率を有する応力制御膜（１４）と、が設けられる。【選択図】図３
Inventors:
Yasuhiro Aida
Katsuyuki Kurachi
Hitoshi Sakuma
Kazuhiko Maejima
Katsuyuki Kurachi
Hitoshi Sakuma
Kazuhiko Maejima
Application Number:
JP2015502971A
Publication Date:
October 15, 2015
Filing Date:
July 25, 2013
Export Citation:
Assignee:
tdk Corporation
International Classes:
H01L41/09; A61B5/0245; B41J2/14; G01C19/5621; G01L9/08; G11B21/10; G11B21/21; H01L41/04; H01L41/113
Domestic Patent References:
| JP2010103194A | 2010-05-06 | |||
| JP2008042191A | 2008-02-21 | |||
| JP2006100622A | 2006-04-13 | |||
| JP2001354497A | 2001-12-25 | |||
| JP2009094449A | 2009-04-30 |