Title:
圧電部材、超音波発振素子、超音波プローブ、超音波診断装置、及び圧電部材の製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2018164047
Kind Code:
A1
Abstract:
金属電極の圧電素体に対する密着性を向上させた圧電部材を提供する。圧電部材１０２は、圧電素体２１と、圧電素体２１の一対の対向面２１ｂ，２１ｃ上にそれぞれ形成される一対の電極４１，４２とを備え、電極４１，４２は、圧電素体２１の対向面２１ｂ，２１ｃ上に形成されチオール基を有する下地膜４１ａと、下地膜４１ａ上に形成される金属接着膜４１ｂと、金属接着膜４１ｂ上に形成され圧電素体２１に電圧を印加するための電極膜４１ｃとを有し、金属接着膜４１ｂは、電極膜４１ｃと異なる材料で形成され、１ｎｍ以上１０ｎｍ以下の厚みを有する。
Inventors:
Naoki Shimizu
Kazunari Tada
Kazunari Tada
Application Number:
JP2019504566A
Publication Date:
December 26, 2019
Filing Date:
March 05, 2018
Export Citation:
Assignee:
Konica Minolta Co., Ltd.
International Classes:
H01L41/047; H01L41/09; H01L41/113; H01L41/187; H04R17/00
Attorney, Agent or Firm:
Mitsuhiro Fukuda